在組成羅茨泵機(jī)組時(shí),選擇適當(dāng)?shù)那凹?jí)泵與羅茨泵的抽速比是至關(guān)重要的,因?yàn)榱_茨泵的壓縮比是有限的。這個(gè)壓縮比直接決定了前級(jí)泵的容量,因?yàn)槌樗倥c壓縮比成反比。一般而言,選擇壓縮比在2~10之間的前級(jí)泵。
另外,還需要考慮對預(yù)抽時(shí)間的要求。真空設(shè)備通常作為輔助設(shè)備用于各種機(jī)械設(shè)備中,如果正常工作時(shí)間相比預(yù)抽時(shí)間較長,可以選用較小的前級(jí)泵(壓縮比可稍大些)。而對于較大的真空室,且需要快速預(yù)抽的情況,就需使用較大的前級(jí)泵。
有時(shí)為了提高設(shè)備效率,機(jī)組可能前裝有一臺(tái)較大的預(yù)抽泵,在正常工作后停掉它,而用較小的前級(jí)泵維持。這樣的做法是為了節(jié)約功率。
對于羅茨真空泵機(jī)組的極限壓力要求,也是選擇前級(jí)泵時(shí)必須考慮的。若對極限真空度要求較高(在1×10-3Pa1×10-2Pa壓力范圍),一般可選用雙級(jí)旋片式油封機(jī)械泵或雙級(jí)滑閥機(jī)械泵作為前級(jí)泵。而對于極限真空度要求在1×10-2Pa1×10-1Pa之間,可選用單級(jí)油封機(jī)械泵作為前級(jí)泵。而在極限真空度要求在133~1333Pa之間時(shí),可選用往復(fù)式真空泵或液環(huán)式真空泵作為前級(jí)泵。
若選用往復(fù)式或液環(huán)式粗真空泵作為羅茨真空泵的前級(jí)泵時(shí),前級(jí)泵的抽速一般為羅茨真空泵的1/2—1/4,不能太大,否則將使壓縮比過大,造成羅茨真空泵的排氣溫度高而不能正常工作。
在選擇前級(jí)泵時(shí)還需考慮被抽氣體中是否含有腐蝕性介質(zhì)、可凝性氣體,以及其量的大小。如果含有腐蝕性氣體,就不適宜選用油封機(jī)械泵。同時(shí),油封機(jī)械泵也不適用于抽除含有大量可凝性蒸汽的氣體,否則會(huì)使密封液迅速乳化。對于含有微量可凝性蒸汽的氣體,必須選用帶有氣鎮(zhèn)裝置的油封機(jī)械泵作為前級(jí)泵。
為了在低入口壓力(1100Pa)時(shí)獲得高的抽氣速率,可用一臺(tái)羅茨真空泵作為另一臺(tái)羅茨真空泵的前級(jí)泵組成三級(jí)或四級(jí)機(jī)組。此時(shí),羅茨真空泵之間的抽速比一般在25之間。
單級(jí)水環(huán)泵的極限真空度不高,但結(jié)構(gòu)簡單、維修方便,一般用于低真空、大抽速的場合。而雙級(jí)水環(huán)泵可以提高真空機(jī)組的極限真空度,因此**用于真空機(jī)組中。
一臺(tái)羅茨泵的極限真空度相對較低,特別是當(dāng)與水環(huán)泵組合運(yùn)行時(shí),其使用范圍受到限制,整個(gè)機(jī)組的極限真空度可能更低。但若使用兩臺(tái)或多臺(tái)羅茨泵串聯(lián)再與水環(huán)泵組合,將**提高機(jī)組的極限真空度。
因此,在這種情況下,通常會(huì)選擇兩臺(tái)羅茨泵串聯(lián),通過各級(jí)羅茨泵的逐級(jí)增壓,以達(dá)到較高的真空度。一般情況下,2SK水環(huán)泵串聯(lián)ZJ150羅茨泵兩臺(tái),可以達(dá)到20Pa的極限真空度。
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